 コンソーシアム名
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高効率次世代半導体製造システム技術開発（Highly Agile Line Concept Advancement） |
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プロジェクトリーダー
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東北大学 未来科学技術共同研究センター
教授
大見 忠弘氏 |
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住所
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茨城県つくば市小野川16-1 つくば西-７棟 |
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設立年
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2001年8月30日 |
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プロジェクトの期間
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2001年8月 - 2004年3月 |
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設立背景
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システムLSIの製造に最適な段階投資型・省エネの半導体製造システムを提案し、構築することが必須とされた。クリーンルームそのものも半導体製造装置の一種ととらえ、全体の効率向上を徹底的に追及し、システムLSIに最適な製造システムを構築する事を行う。製造を強化する事が大変重要との認識から製造を強くする事で、日本半導体復権を達成することが目指された。
経済産業省「情報通信基盤高度化プログラム」にかかわる2001年度「課題設定型実用化開発補助事業」として、「高効率次世代半導体製造システム技術開発助成事業」に関するNEDOの公募（実用化開発補助金事業）に対し、ASETが採択を得ることが決定した。2001年9月よりプロジェクトリーダーを東北大学の大見教授として、助成金対象技術開発、「高効率次世代半導体製造システム技術開発」の事業「HALCAプロジェクト」が2001年スタートした。 |
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ノード数
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130nm |
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研究目的
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一つの装置で複数のプロセスが可能になる新規な製造装置を中心に開発し、省エネ60％を達成し、さらに段階投資型の半導体製造技術を構築し、日本発の新しい半導体製造ビジネスモデルを創出することを目指している。 |
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主研究テーマ
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[ 助成金事業 ]
1.１台の装置で複数プロセス処理可能、装置共有化による複数プロセス処理技術
2.プロセス工程の大幅削減化技術
3.高効率なエネルギー利用技術、消費エネルギー/PFC削減技術
4.機能水活用による洗浄プロセス技術
5.低音、高速成膜技術
[ 賦課金事業 ]
1.一貫ライン（130nmノード、200mmφ）構築による助成金事業の検証
2.ファブエンジニアリング技術（最適なミニファブ構築技術の開発）
3.トヨタ生産方式の半導体生産技術へ摘要検討
4.東北大学および産総研との共同研究 |
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年間予算
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3年間で80億円 内、研究開発費77億円、事務費3億円 |
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参加企業
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助成金事業9社：東芝、ソニー、シャープ、ローム、セイコーエプソン、東京エレクトロン、荏原製作所、ULVAC、大日本スクリーン製造
賦課金事業14社：上記9社＋三洋電機、清水建設、大林組、大成建設、トヨタ自動車 |
